Oxford Instruments, światowy lider high-techu otrzymał zamówienie warte miliony funtów na zaawansowaną metodę osadzania oraz analizę systemu wskaźników od James Watt Nanofabrication Centre przy Uniwersytecie w Glasgow.
System ten umożliwi zwiększenie wydajności energetycznej elektronicznych i optoelektronicznych urządzeń do różnorodnych zastosowań. Dzięki technologii plazmatycznej i firmom Omicron Nanoscience, Oxford Instruments mógł dostarczyć szeroki zakres technologii niezbędnych dla wielofunkcyjnego i wielokomorowego systemu „Powerhouse”.
Czterokomorowy system Oxford Instruments zawiera:
1. Narzędzie do osadzania atomowego Plasma Technology’s FlexAL używane do tworzenia bardzo cienkich powłok metali, tlenków, azotków, wykorzystujące zarówno termalnie jak i indukcyjnie sprzężoną plazmę.
2. PlasmaPro System100 ICP do rytowania złożonych materiałów półprzewodnikowych.
3. System osadzania PlasmaPro System100 ICP for High-Density PECVD tworzący nieuszkodzone powłoki o niskiej temperaturze.
4. Omicron Nanoscience NanoSAM LAB używany do dokładnej analizy chemicznej powierzchni oraz do obrazowania małych struktur w wysokiej rozdzielczości przy użyciu urządzeń Scanning Auger Microscopy (SAM) i Scanning Electron Microscopy (SEM).
Powyższe systemy będą połączone ze sobą w unikalnych konfiguracjach w środowisku próżniowym, dzięki urządzeniom przemysłowym umożliwiającym produkcję i pomiary na ich powierzchniach i interfejsach bez kontaktu z powietrzem. Będą one stosowane w projektach zwiększających zakres zastosowania, poprawiających wydajność elektrycznych i optoelektrycznych urządzeń oraz jako pomoc w redukcji zużycia energii ICT i emisji węgla.
Projekty te obejmują następujące przedsięwzięcia:
1. Silicon compatible GaN power electronics – praca nad wydajnymi urządzeniami elektrycznymi ,
2. Scalable solar thermoelectrics and photovoltaics – obniżenie koszty wykorzystywania energii słonecznej na dużą skalę i redukcja emisji dwutlenku węgla związanej z elektycznymi i termalnymi źródłami energii.
Źródło: http://www.azonano.com/